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调制脉冲技术,超高洁净环境使用的离子棒 5635 / 5635M Bar

调制脉冲技术,超高洁净环境使用的离子棒 5635 / 5635M Bar​ Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散,低残余电压摆幅,和精准的离子平衡,是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。
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调制脉冲技术,超高洁净环境使用的离子棒 5635 / 5635M Bar


调制脉冲技术,超高洁净环境使用的离子棒 5635 / 5635M Bar

离子棒 5635 / 5635M Bar认证标准

Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散,低残余电压摆幅,和精准的离子平衡,是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面,这突破的技术使 5635MP 离子棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和精确的参数调整,使它达到超越 ISO Class 1 洁净水平的

“Extended ISO Class 1”洁净度,适合更微小的先进技术制程。选配的吹气辅助功能,在洁净要求不高的环境,能加快离子的推送,得到更快的消散时间和有更远的工作距离。


Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能容易设置和微调参数 - 输出电压,脉冲频率,正负平衡,以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时,静电针的间距是 5 cm,这样能给出更浓密和更平均的离子覆盖。

调制脉冲技术,超高洁净环境使用的离子棒 5635 / 5635M Bar


特点


优点


• ISO 14644-12 (0.01 mm 微粒) 洁净度
• 可兼容包括 14 nm 和以下的所有晶圆技术
• 调制脉冲技术
• 精准的正负平衡,高离子输出量,和长期稳定
• 卓越的横向均匀度
• 整根棒的离子平衡都一致
• 低电场电压
• 可安全靠近晶圆或光罩,放置距离可近至 15 cm
• 吹气辅助功能
• 在快速的自动设备,能增强消除静电的能力
• 选配的软件有易用的介面和宽阔的可调性
• 在任何环境都能快速设定和容易调至最佳效能
• 警报输出信号
• 能输出至设备或远端监控系统


洁净度

型号 5635 MP 离子棒的设计是使用在 ISO 14644-1 Class1 洁净度的环境 (每立方米少过 10 粒 @ ≥0.1 micron 的微粒)。如把输出功率设在 45-50% 和使用 OpenJet 风嘴和单晶硅静电针,它可兼容 ISO 14644-12 洁净度 (每立方米少过1200 粒 @ ≥0.01 micron 的微粒)。

ISO Class 1限定的0.1和0.01micron微粒


ISO 14644-1 (1999) 定义 9 个级别的微粒数量限定。当空间内每立方米的漂浮微粒数量不超过该级别的限定,空间的洁净度就符合该级别。下列图表摘要级别的 0.1 micron 至 5micron 的微粒数量限定。


离子棒 5635 / 5635M Bar微粒特性


产品规格

调制脉冲技术,超高洁净环境使用的离子棒 5635 / 5635M Bar规格

型号5601电源分配盒(选配)

型号 5601 电源分配盒可作为中央电源和软件控制,能连接 8 根 5635 MP 离子棒。


简易安装

Aerobar 5635 MP 离子棒只要连上 24  VDC 电源即可工作,如需要也可接入气源作吹气辅助。DIP 开关可设定功率输出,可根据说明书的建议,设定需要的消散效能。然后在棒上微调操作参数,或透过连接的电脑软件调节,以达到最佳的离子平衡,最小的电压摆幅,和最快的消散时间。在信号和电源的接线盒上的警报连接能输出至设备或中央控制室作远端设备监控。



调制脉冲技术,超高洁净环境使用的离子棒 5635 / 5635M Bar安装




调制脉冲技术,超高洁净环境使用的离子棒 5635 / 5635M Bar工作流程




调制脉冲技术,超高洁净环境使用的离子棒 5635 / 5635M Bar接口



调制脉冲技术,超高洁净环境使用的离子棒 5635 / 5635M Bar应用实例




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